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等級

>=0.5um塵粒數(shù)

>=5um塵粒數(shù)

顆/立方英尺

顆/立方米

顆/立方英尺

顆/立方米

100

100

3,500

/

/

1,000

1,000

35,000

7

250

10,000

10,000

350,000

70

2,500

100,000

100,000

3,500,000

700

25,000

氣流形式

適用潔凈級別

優(yōu)點(diǎn)

缺點(diǎn)

垂直層流底回風(fēng)

10級,100級

1 效果很完全
2 運(yùn)轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易

1 設(shè)備造價非常高
2 擴(kuò)展比較困難
3 維護(hù)費(fèi)用高

垂直層流側(cè)回風(fēng)

10級,100級

1 效果完全
2 運(yùn)轉(zhuǎn)即成穩(wěn)定狀態(tài)
3 粉塵堆集及再飄浮極少
4 管理容易

1 設(shè)備造價非常高
2 擴(kuò)展比較困難
3 維護(hù)費(fèi)用高

混流方式

100級,1000級

1 結(jié)構(gòu)比較簡單
2 效果較好

1 造價較高
2 運(yùn)行,維護(hù)費(fèi)較高

亂流方式

1000級,
10000級,
100000級

1 結(jié)構(gòu)簡單
2 造價低
3 擴(kuò)展方便

1 易產(chǎn)生渦流
2 不易管理

行 業(yè) 名 稱

所 需 凈 化 級 別

10級

100級

1000級

10000級

100000級

電子行業(yè)

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微電子行業(yè)

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計(jì)算機(jī)行業(yè)

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半導(dǎo)體行業(yè)

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精密機(jī)械

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精密儀器,儀表

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激光行業(yè)

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醫(yī)藥行業(yè)

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醫(yī)院

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生物制品

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實(shí)驗(yàn)室,無菌室

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精細(xì)化工

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食品行業(yè)

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